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SR系列膜厚传感器

简要描述:SR系列膜厚传感器提供快速、稳定的膜厚在线量测解决方案。

产品型号:  更新时间:2024-04-03  浏览次数:109

  • 厂家实力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 质量保障

    Quality Assurance

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详细介绍

一、产品概述

SR系列膜厚传感器提供快速、稳定的膜厚在线量测解决方案。


二、产品特点

■ 操作简便、小巧易安装;

■ 高速、高分辨率

■ 多款定制测头满足多场景需求;

■ 宽光谱涵盖多膜厚需求应用;

■ 适用在线膜厚量测与质量评估

■ 宽光谱实现多应用场景需求


三、测量原理

SR干涉原理.png

image.png



image.png


技术参数

图片1.png

 *1:用玻璃的折射率1.5计算

*2:用硅的折射率3.67计算

      *3:测量500 nmSiO2厚度的1σ

             *4:测量厚度大于30µm的Si膜的1σ

图片2.png

    

武汉颐光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是国内专业从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的高新技术企业,公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办,与华中科技大学紧密合作,是国内椭偏光学仪器领域颇具优势的技术团队。

公司注册于武汉东湖国家自主创新示范区,立足光谷,面向全球,为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。

产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。


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