产品系统NEWS CENTER

在发展中求生存,不断完善,以良好信誉和科学的管理促进企业迅速发展
产品系统

首页-产品系统-FTIR系列-IRE200-IRE-200 膜厚测试仪

IRE-200 膜厚测试仪

简要描述:IRE-200是一款超高精度的外延层厚度测量设备,利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析,主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。

产品型号:  更新时间:2024-04-03  浏览次数:1000

  • 厂家实力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 质量保障

    Quality Assurance

详细介绍


一、概述

IRE-200是一款超高精度的外延层厚度测量设备,利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析,主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。

333.png

■ 单抛/双抛等多种模式选择支持;

■ 自定义mapping功能;

■ 高检测速率:Si标准外延片测量25点≤3min;

■ 高检测精度:≤0.01um 。

二、产品特点

1)设备采用高性能光源模块,光源稳定性好,信噪比高,覆盖范围7800-350cm-1

image.png


2)搭配自主研发算法软件,可精准快速地获取测量结果。

image.png

image.png


image.png

image.png

3) 搭配自主研发的mapping运动台,定位精准、测量速度快。

image.png

三、产品应用

 IRE-200广泛应用于半导体行业中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延层厚度的量测。

SiC EPI量测案例

      

image.png


image.png


技术参数

FTIR.png


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

相关产品

    没有相关产品信息...

关注我们
微信账号

扫一扫
手机浏览

Copyright©2024  武汉颐光科技有限公司  版权所有    备案号:鄂ICP备17018907号-2    sitemap.xml    技术支持:化工仪器网    管理登陆