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HRSR系列膜厚传感器

简要描述:半导体复杂膜层在线量测解决方案。

产品型号:  更新时间:2024-04-03  浏览次数:104

  • 厂家实力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 质量保障

    Quality Assurance

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详细介绍

一、产品概述

HRSR膜厚传感器提供半导体复杂膜层在线量测解决方案。

二、产品特点

■ 超精密厚度测量,满足5μm-800um的厚度监测 ;

■ 可测量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ;

■ 对恶劣的工业环境适应性高 ;

■ 对热、湿或振动不敏感;

■ 采样速率大于3KHz。

三、测量原理

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技术参数

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武汉颐光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是国内专业从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的高新技术企业,公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办,与华中科技大学紧密合作,是国内椭偏光学仪器领域颇具优势的技术团队。

公司注册于武汉东湖国家自主创新示范区,立足光谷,面向全球,为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。

产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。






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