特点:
非破坏性测量
无需接触或损伤样品,可对成品、半成品进行多次复测,避免样品损耗。
高精度与宽量程
精度:常规型号 ±2nm~±5nm;
量程:覆盖 1nm至数百微米,部分型号支持多层膜测量。
快速高效
单次测量时间短,简易款约 0.1~1 秒,分光法约 3~5 秒,可满足生产线 “在线检测” 需求。
操作便捷
内置常见材料的折射率数据库,无需手动输入参数;部分型号支持 “一键测量”,无需专业光学知识即可操作。
环境适应性强
工业级型号具备防尘、防震设计,可在车间环境稳定工作;实验室型号支持恒温控制(±0.5℃),进一步提升数据稳定性。
反射膜厚仪的使用注意事项:
样品预处理:确保样品表面清洁(无灰尘、油污),否则会影响反射光信号,导致测量误差;
环境控制:实验室高精度测量需避免强光直射、气流扰动,工业场景需远离振动源;
定期校准:使用标准膜厚样品每月校准一次,确保仪器精度;
参数匹配:测量前需确认薄膜折射率、基底类型是否与仪器设置一致。