SR-C 紧凑型高精度反射膜厚仪，利用光学干涉原理，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

SR-Mapping反射膜厚仪是超快速薄膜表征仪器，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱，从而测量薄膜的厚度及光学常数。

SR-M 针对特定微小区域，可提供微米级的聚焦光斑，同时利用显微物镜定位测量点，从而获取精准位置的厚度表征结果。

RT-V 系列反射透射测量仪，采用进口氘卤二合一光源，结合高性能分光光谱仪，可测量获得紫外到近红外光谱范围内薄膜的反射率和透射率光谱，并进一步计算获得样品色坐标，以及薄膜厚度、光学常数等信息。