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产品专区|颐光科技精选自研产品推荐

更新时间:2025-02-26      点击次数:135

颐光科技为您精选了多款光谱椭偏仪、反射膜厚仪自研产品。

   

光谱椭偏仪

ME-L穆勒矩阵椭偏仪  

ME-L是一款全自动高精度穆勒矩阵光谱椭偏仪,拥有行业前沿的光路调制技术,采用半导体制冷式探测器,具有超高灵敏度和极快的信号采集速度,同时也包括消色差补偿器、双旋转补偿器同步控制、穆勒矩阵数据分析等。

ME-Mapping光谱椭偏仪  

ME-Mapping光谱椭偏仪可以满足大尺寸晶圆的多点自动化扫描测量需求,自定义绘制测量路径,支持实时显示膜厚分布以及数据汇总。设备采用双旋转补偿器调制技术,直接测量16阶穆勒矩阵,可获取更多样件信息。具有宽光谱消色差补偿技术以及仪器精密校准算法,大大提升测量准确度和精度,广泛应用于设备厂商/Fab级镀膜均匀性快速测量表征。

SE-VM光谱椭偏仪  

SE-VM光谱椭偏仪可实现科研/企业级高精度快速光谱椭偏测量,支持多角度,微光斑等高兼容性灵活配置,多功能模块定制化设计,广泛应用于光通讯/OLED/TP/透明导电膜等涉及透明衬底镀膜测量表征应用。


反射膜厚仪

SR-C反射膜厚仪  

SR-C反射膜厚仪采用微纳米薄膜光学创新测量技术,应用于各式光学薄膜膜厚快速表征。

SR-Mapping反射膜厚仪  

SR-Mapping反射膜厚仪利用反射干涉的原理进行无损测量,提供半导体级Mapping测量解决方案,应用于成膜设备/Fab级镀膜等大尺寸薄膜均匀性自定义多点分布测量。

 SR-M显微膜厚仪  

SR-M显微膜厚仪采用微米级聚焦光斑,同时利用显微物镜定位测量点,针对特定微小区域实现微区厚度精准表征。

 EOF系列  

EOF系列膜厚仪采用Mapping测量机台,支持多种测头参数定制,配备图像识别功能,一键完成整片自动测量。



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