光谱椭偏仪有什么功能？

光谱椭偏仪通过捕捉偏振光经样品反射后的偏振态变化，获取振幅比Ψ和相位差Δ两个核心参数，经光学模型拟合反演得到目标数据，测量精度可达亚纳米级，无需标准参考片，对环境光波动、样品散射的抗干扰能力强。

功能：

薄膜厚度测量：可测范围从单原子层到50 μm以上，精度可达亚埃级

光学常数测定：折射率n、消光系数k、介电函数ε随波长的变化

多层膜结构分析：可解析多达50层的复合薄膜结构

界面粗糙度评估：通过有效介质近似模型分析表面/界面粗糙度

材料组分分析：确定非化学计量材料的成分比例

高低温原位测试：配合高低温台，研究温度对薄膜特性的影响

自动Mapping扫描：分析样品镀膜均匀性

优势：

无损非接触、样品无需预处理，可重复测试

超高灵敏度，可测单原子级超薄薄膜

一次测量获得全光谱光学常数，可解析复杂多层膜结构

测试速度快，单点毫秒级，适配在线批量检测