椭圆偏光仪,椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量产中所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜等质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。

红外椭偏仪,SE-i光谱椭偏仪针对有机/无机镀膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发，可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，椭偏测量头快速实现光学薄膜原位表征分析

穆勒矩阵光谱椭偏仪,椭偏检测机台通过整体高度集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。

SE-PV系列是针对光伏电池片特性专门设计的全光谱椭偏仪，基于旋转补偿器调制技术，一次性获取Psi/Delta、N/C/S等偏振信号，能实现光伏行业中绒面和非绒面样品的薄膜膜厚、光学常数的快速表征。