ME-L 是一款科研级全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪，凝聚了颐光科研团队在椭偏技术多年的研发投入，其采用行业前沿的创新技术，包括消色差补偿器、双旋转补偿器同步控制、穆勒矩阵数据分析等。 可应用于各种各向同性/异性薄膜材料膜厚、光学纳米光栅常数以及一维/二维纳米光栅材料结构的表征分析。 全自动变角、对焦技术，一键快速测量； 向导交互式人机界面，便捷的软件操作体验； 丰富的材料数据库与算法模型库，强大的

Mapping系列光谱椭偏仪是全自动高精度Mapping绘制化测量光谱椭偏仪，配置全自动Mapping运动机构，通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现薄膜全基片的膜厚及光学参数自定义绘制化测量表征。

SE-VM是一款高精度快速测量光谱椭偏仪,可实现科研/企业级高精度快速光谱椭偏测量，支持多角度、微光斑、可视化调平系统等高兼容性灵活配置，支持多功能模块定制化设计。

SE-VE是一款高性价比快速测量光谱椭偏仪,紧凑集成化设计，操作简便，一键快速测量和向导交互式人机界面，具有丰富的材料数据库和算法模型库、强大的数据分析能力。

针对微区图形结构测量定制的专用型光谱椭偏仪