在材料科学与光学表征领域，光谱椭偏仪作为一种非侵入式光学测量设备，凭借独特的偏振光分析原理，成为薄膜厚度、光学常数及材料微结构表征的核心工具。它避开传统测量方法破坏样品、精度有限的短板，通过多波长偏振光与样品的相互作用，实现对微观尺度结构的精准探测，广泛应用于多个前沿领域。光谱椭偏仪的核心原理基于光的偏振特性与菲涅尔光学理论。仪器光源发出的光束经偏振调制后，形成特定偏振状态的光线，以固定角度入射至样品表面。当偏振光在样品表面反射或透射时，会因材料的光学性质与薄膜结构改变偏振状...

冯哲川教授团队发表了关于物理气相传输法（PhysicalVaporTransport，PVT）制备AlN晶体的深入研究。本研究巧妙地综合利用可变角度光谱椭偏仪、拉曼光谱与原子力显微镜等表征手段，揭示了c面与m面AlN晶体的本质特性差异。其中，椭偏仪作为核心表征手段，为评估晶体质量提供了关键、多维度的量化证据。研究成果以“Temperature-DependentRamanScatteringａndCorrelativeInvestigationofAlNCrystalsPre...

椭偏仪在半导体CMP工艺量测的应用一、半导体CMP工艺背景芯片制造过程大致可以分为顶层设计、晶圆制造、封装测试三大步骤，晶圆制造过程尤为复杂。晶圆制造主要包括7大流程，分别是扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、化学机械抛光（Chemical-MechanicalPlanarization，简称CMP）、金属化。不同特性芯片，工艺制程和技术节点要求也不同，这些工艺制程并不是按某单一顺序执行，而是选择性地重复进行。例如，每一片晶圆在生产过程中可能都会经历几道甚至几十道的CMP工...

一、钙钛矿太阳能电池介绍太阳能电池是一种能将太阳能转换为电能的光伏器件。太阳能电池可以应用于发电厂，照明，汽车，通风系统等商用和家用的场景。太阳能电池可以分为第一代、第二代和第三代电池。第一代电池也称为传统电池或晶硅电池，由商业上占主导地位的晶体硅制成，包括多晶硅和单晶硅等材料。第二代电池是薄膜太阳能电池，包括非晶硅，CdTe和CIGS电池。第三代太阳能电池包括多种薄膜技术，通常被称为新兴光伏技术。晶硅电池的理论极限效率为29.4%，考虑到光学与电学的实际可能的损失后,其实际...

反射透射测量仪是一种用于准确测定材料光学特性的精密仪器，主要用于测量样品对光的反射率、透射率以及由此推算出的吸收率。它被广泛应用于光学材料研发、薄膜镀膜、半导体、光伏、建筑玻璃及各类新型材料的性能表征与质量控制。反射透射测量仪是基于光学的反射、透射现象：向待测样品发射特定波长光线，分别测量被样品反射的光强和透过样品的光强，与入射光强对比后计算得到样品的反射率和透射率。操作要点：定期校准与基线校正：测量前必须使用标准参考白板和空气/空白基片对仪器进行校准，以消除光源波动和环境杂...

在半导体制造和精密加工领域，晶圆形貌量测是确保工艺良率、设备可靠性和器件性能的关键质量管控环节，可避免工艺过程中出现光刻失焦、设备碎片、键合空洞、刻蚀不均匀等一系列问题。TTV与翘曲度的测量是贯穿半导体前道工艺的核心几何量计量，其本质在于通过对硅片宏观三维形貌的严格管控，消除微观电路制造过程中的物理不确定性，从而保障光刻对准、工艺均匀性、设备安全及最终产品的电性能与可靠性。颐光科技的MSM系列高精度晶圆形貌测量设备，可满足晶圆形貌的高精度量测。MSM系列产品n技术原理n应用场...