随着半导体技术的快速发展,集成电路(IC)的制造工艺变得越来越精密,尤其是在薄膜沉积和刻蚀等工艺中,厚度控制显得尤为重要。红外干涉测厚仪作为一种高精度的非接触式测量工具,在半导体制造过程中得到了广泛应用。其原理基于红外干涉现象,通过反射光波与薄膜表面之间的相位差来实现对薄膜厚度的测量。以下将分析红外干涉测厚仪在半导体制造中的应用及优势。1、高精度厚度测量在半导体制造中,薄膜的厚度对器件的性能具有直接影响。例如,在光刻、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)等过程中,薄膜...
查看详情颐光科技为您精选了多款光谱椭偏仪、反射膜厚仪自研产品。光谱椭偏仪ME-L穆勒矩阵椭偏仪ME-L是一款全自动高精度穆勒矩阵光谱椭偏仪,拥有行业前沿的光路调制技术,采用半导体制冷式探测器,具有超高灵敏度和极快的信号采集速度,同时也包括消色差补偿器、双旋转补偿器同步控制、穆勒矩阵数据分析等。ME-Mapping光谱椭偏仪ME-Mapping光谱椭偏仪可以满足大尺寸晶圆的多点自动化扫描测量需求,自定义绘制测量路径,支持实时显示膜厚分布以及数据汇总。设备采用双旋转补偿器调制技术,直接测...
查看详情椭偏仪在AR衍射光波导行业中的应用AR衍射光波导是什么?目前,市面上较成熟的AR光学显示方案主要有棱镜方案、Birdbath方案、自由曲面方案和光波导方案等。各方案都有不同维度上的侧重,但真正满足AR产品需求的光学方案其实并不多。AR光学显示方案特点缺点棱镜方案可实现全彩显示,技术成熟,价格便宜FOV不够大,AR体验感不强,无法做成眼镜形态自由曲面方案成像色彩饱和、视场角大、功耗较低,体积适中比普通眼镜更厚、重,外界透光率较低、图像容易畸变Birdbath方案结构简单、门槛低...
查看详情目录01平板显示行业测量介绍02平板显示行业的量测意义03平板显示行业的测量解决方案01平板显示行业测量介绍平板显示器件于20世纪60年代出现,主要包括液晶显示器、发光二极管、等离子显示板、电致发光显示器等。目前液晶显示LCD(LiquidCrystalDisplay)与有机电致发光显示OLED(OrganicLight-EmittingDiode)为平板显示行业主要显示技术,占据行业绝大部分产值。检测是面板生产过程的必要环节。面板显示检测的作用是在面板显示器件的生产过程中进...
查看详情教学椭偏仪是一种精密的光学测量仪器,正确的维护保养对于延长其使用寿命、确保测量精度至关重要。以下是一些关键的维护保养方法。1、日常清洁保持仪器的清洁是维护的基础。每次使用后,应使用干净、柔软的镜头纸或棉签轻轻擦拭仪器的光学元件表面,如透镜、反射镜等,去除可能沾染的灰尘、指纹等污渍。注意擦拭时要沿着同一方向,避免来回摩擦造成划伤。对于仪器外壳和其他非光学部件,可用干布擦拭,清除表面的灰尘和杂物。2、防潮防尘教学椭偏仪对环境湿度和灰尘较为敏感。应将仪器放置在干燥、通风良好的环境中...
查看详情椭偏仪,作为一种精密光学测量仪器,用于分析光的偏振状态及其与物质相互作用的性质,对半导体、液晶、薄膜材料等的厚度、折射率、吸收系数等参数有着精确的测量能力,在科学研究和工业生产中扮演着重要角色。近年来,随着国内科研技术的发展,国产椭偏仪在性能和技术上取得了长足进步,逐渐成为国内外市场的有力竞争者。国产椭偏仪的测量误差受到多种因素的影响,包括仪器本身的设计精度、操作条件、被测样品特性等。一般而言,现代国产高档椭偏仪的误差范围可以从几个百分点至万分之几,具体数值依据型号和应用场合...
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